Để có thể thực hiện các phép đo ba chiều (3D) của phôi bằng cảm biến quang học, cần có phương pháp đo dọc theo trục tọa độ thứ ba ngoài cảm biến xử lý hình ảnh. Ví dụ, một cảm biến khoảng cách như vậy là Đầu dò Laser Werth (WLP), có thể được tích hợp vào đường truyền tia của Werth Zoom để kết hợp các phép đo cạnh và khoảng cách mà không cần thay đổi cơ học cảm biến (bằng sáng chế).

Với hệ thống điều khiển tự động kết hợp cùng phần mềm đo WinWerth thông minh ® WLP cho phép thực hiện các phép đo dễ dàng và an toàn trên các bề mặt khác nhau với độ nghiêng lên tới 80° hoặc độ cong tương ứng. Cảm biến khoảng cách laser đạt tốc độ quét cao với vài trăm đến nghìn điểm đo mỗi giây. Tích hợp vào đường truyền tia của cảm biến xử lý hình ảnh giúp tiết kiệm thời gian đo và phạm vi đo đa cảm biến, vì chu kỳ thay đổi cảm biến và độ lệch giữa các cảm biến được loại bỏ. Hoạt động được đơn giản hóa bằng cách hiển thị điểm đo trên bề mặt phôi. Vị trí đo và điểm đo được hiển thị trên màn hình của cảm biến xử lý hình ảnh.

Do sự không đối xứng của chùm tia laser (a) thông qua việc sử dụng lưỡi cắt Foucauldian (b) ánh sáng phản xạ khuếch tán chạm vào các vị trí khác nhau của diode vi sai (c) xác định được khoảng cách đến bề mặt phôi (d) Việc tích hợp vào cảm biến xử lý hình ảnh (e) diễn ra thông qua gương chia (f)