Năm 2005, Werth đã phát triển TomoScope® 200, máy CT đầu tiên dùng cho đo lường tọa độ. Với sai số đo chiều dài cho phép MPE cho E lên tới (4,5 μm + L/75) μm, tại thời điểm đó đã có thể đo hoàn toàn và chính xác. Thiết bị kế thừa hiện đại với điện áp ống cao và máy dò có độ phân giải cao với kích thước bên ngoài nhỏ gọn đã được giới thiệu vào năm 2011. Tiếp theo là những năm sau đó là các máy CT lớn hơn để đo các phôi khó xuyên thấu với độ phân giải cao. Từ năm 2017, các hệ thống đo tọa độ CT nhỏ gọn hơn để đo nhanh với độ phân giải cao đã được giới thiệu cùng với dòng thiết bị TomoScope® XS.
Với phạm vi đo lớn và điện áp tia X lên tới 240 kV, thậm chí có thể đo được các vật thể lớn
Hiệu suất cao nhất với các thành phần được tối ưu hóa
Hệ thống đo TomoScope® S Plus mới có khối lượng đo lớn hơn gấp đôi so với các hệ thống tiền nhiệm nhưng có cùng kích thước. Với các thông số kỹ thuật duy nhất cho sai số đo chiều dài MPE cho E là (4 + L/75) μm và sai số khoảng cách MPE cho SD là (2,5 + L/100) μm, dòng sản phẩm này cũng cung cấp độ chính xác chắc chắn là cao nhất trong lớp máy.
Hệ thống thiết bị mô-đun đã được mở rộng. Có thể tích hợp các ống tia X từ điện áp ống 130 kV đến 240 kV, với mục tiêu truyền hoặc phản xạ và có hoặc không có tiêu điểm. Với điện áp ống lên tới 240 kV, TomoScope® S mới có thể được sử dụng để đo các phôi lớn khó xuyên thủng. Các máy dò có 2 megapixel đến 28 megapixel với kích thước pixel từ 50 μm đến 200 μm. Sự kết hợp giữa các máy dò lớn và các phương pháp chụp cắt lớp đặc biệt như chụp cắt lớp raster hoặc nửa mặt cho phép phạm vi đo lớn lên tới 650 mm. Ngoài ra, các chế độ vận hành mới như chụp ảnh laminography và chụp cắt lớp lệch tâm “OnTheFly” cũng có sẵn cho dòng TomoScope® S.
Các máy mới đạt được tốc độ đo thậm chí còn cao hơn. Hiệu chỉnh giả tạo chùm tia hình nón mới cho phép đo nhanh, chính xác với khoảng cách ngắn giữa nguồn tia X và máy dò. Bằng cách sử dụng các máy dò lớn và nhanh, tỷ lệ năng lượng bức xạ được sử dụng lớn hơn. Điều này cho phép tốc độ đo cao hơn hoặc bằng cách cải thiện tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu với cùng thời gian đo, độ chính xác cao hơn. Giống như tất cả các máy Werth TomoScope®, thời gian đo cũng có thể giảm đáng kể bằng cách đo nhiều phôi cùng lúc.